Beschreibung
Rohrtargets sind speziell geformte Sputtertargets, die als zylindrische oder röhrenförmige Körper gefertigt werden. Im Gegensatz zu klassischen planaren Targets ermöglichen sie eine großflächige, gleichmäßige Beschichtung insbesondere bei rotierenden Kathodensystemen. Die äußere Geometrie wird exakt an die Anforderungen der jeweiligen Beschichtungsanlagen angepasst.
Form
Zylindrisch oder röhrenförmig
Gleichmäßige Wandstärken (straight) oder größerer Außendurchmesser an den Enden (dogbone)
Erhältlich als monolithische, gespritzte oder gebondete Trägermaterialien (z. B. Metalle oder Keramiken)
Typische Maße: individuell anpassbar je nach Anlage und Anwendung
Vorteile
Hohe Materialausnutzung
Durch Rotation des Rohrtargets während des Sputterprozesses wird das Targetmaterial effizienter genutzt als bei planaren Targets.
Gleichmäßige Schichtdicke
Die Rotation verbessert die Homogenität der abgeschiedenen Schichten auf dem Substrat.
Längere Standzeiten
Reduzierte Targetwechselzeiten und längere Betriebszyklen steigern die Produktivität.
Große Beschichtungsflächen
Ideal für industrielle Großserien- und Flachglasbeschichtungen.
Flexible Materialwahl
Erhältlich in Metallen, Legierungen, Oxiden, Nitriden und weiteren Verbundstoffen
Applikationen
Architektur- & Fahrzeugglas
Architekturglas, Automobilglas, Solarglas, Displays, Smart Glass
Elektronik & Halbleiter
Optoelektronik, Advanced Packaging, Leistungselektronik, Photonik
Photovoltaik
Dünnschicht-Photovoltaik (z. B. CIGS, CdTe)
